Post by JAT - Jenaer Antriebstechnik GmbH

🇩🇪 / 🇺🇸 𝗣𝗿ä𝘇𝗶𝘀𝗶𝗼𝗻 𝗼𝗵𝗻𝗲 𝗗𝗿𝗶𝗳𝘁. In der #Mikroproduktion 04/25 zeigen wir, wie eine spezielle Luftlager-Geometrie thermische Ausdehnung gezielt kompensiert und den Tool Center Point auch bei Temperaturdifferenzen von über 40 K stabil hält. Für Anwendungen in der Halbleiterfertigung, Waferbearbeitung oder Optikverstellung bedeutet das: konstante Positioniergenauigkeit ohne thermisch bedingte Drift. Gerade bei hochdynamischen Achsen im Sub-µm-Bereich reduziert das den Kalibrieraufwand und erhöht die Prozesssicherheit. Das PDF enthält die vollständige Beschreibung der patentierten Kreuz-, T- und L-Anordnung luftgelagerter Flügel sowie konkrete Einsatzbeispiele aus der Praxis. 👉 Vollständigen Fachartikel in der #Mikroproduktion lesen😊 👉 Für weitere Details kontaktieren Sie gerne unseren Head of Mechatronics Volker Hille. ~~~~~~~ 𝗣𝗿𝗲𝗰𝗶𝘀𝗶𝗼𝗻 𝘄𝗶𝘁𝗵𝗼𝘂𝘁 𝗱𝗿𝗶𝗳𝘁. Our technical article has been published in #Mikroproduktion 04/25. In this issue, we present a novel air bearing geometry that compensates thermal expansion by design. The concept is based on a cross-, T- or L-shaped arrangement of air-bearing wings whose center lines intersect at a defined Tool Center Point. Even with temperature differences of more than 40 K, the TCP position remains stable. For semiconductor manufacturing, wafer processing, photonics and high-speed optical adjustment systems, thermal drift is a critical challenge. Conventional linear guides can introduce positioning errors when temperatures change. Our approach keeps the functional point mechanically stable and thermally decoupled. Key aspects covered: ▸ Friction-free and hysteresis-free motion with high stiffness ▸ Stable TCP positioning under varying thermal conditions ▸ Reduced calibration effort and improved process reliability ▸ Design freedom in motor selection due to thermal robustness 👉 For further technical information, please feel free to contact our Head of Mechatronics, Volker Hille.